アルバック
上場真空技術を核に半導体・電子部品・産業用装置を展開する企業真空技術を基盤に半導体製造装置、ディスプレイ・電子部品用装置、産業用真空装置、真空部品・材料などを世界に展開する
#真空技術3社
真空技術とは、容器や装置内部の気体を排出して圧力を下げ、気体分子の影響を制御する技術である。完全に分子が存在しない状態を作るのではなく、目的に応じた圧力や気体環境を実現する。半導体製造では成膜、エッチング、イオン注入などの工程に不可欠であり、電子顕微鏡、分析装置、宇宙関連設備、医薬品製造、食品包装などにも広く利用される。主要技術には真空ポンプ、圧力計測、漏れ検査、真空容器の設計、ガス流量制御などがある。近年は半導体の微細化や先端材料の開発に伴い、より清浄で安定した真空環境を維持する技術への要求が高まっている。また、真空装置の省エネルギー化や、腐食性ガス・微粒子への対応も重要となる。一方、到達圧力だけでなく、排気速度、装置内部からのガス放出、保守性、連続稼働時の信頼性などを総合的に管理する必要がある。多くの先端産業を支える基盤技術